盐城光伏新能源硅片洁净室解决方案

光伏新能源硅片是以硅材料制成的镜面状硅片，是半导体集成电路芯片生产的原材料。实验室净化无菌试验室-洁净实验室-生物安全实验室的建设方案包括：建筑布局和装修、空气调节、给排水、气体供应、电气设计、集中控制、安防、施工工艺、检测、培训等多方面内容。目前，随着微电子工业的快速发展，集成电路技术已进入不到0.18微米的时代，极大地刺激了新型光伏能源硅片的发展。同时，对新型光伏能源硅片性能参数的要求也得到了很大的提高。因此，新型光伏能源硅片的发展前景十分乐观。

光伏新能源硅波形的生产工艺

光电新能源硅片生产包括两个主要部分：硅单晶棒生产和光伏新能硅片生产，分为以下几个主要过程：

单晶棒生长 - 单晶棒切割和检验 - 外径研磨 - 切片 - 倒角（圆边） - 研磨/研磨片检测 - 蚀刻（化学蚀刻，LP-CVD + AP-CVD等） - PTA热处理 - 背部损伤处理 - 抛光（ML粗抛，ML精抛） - 清洗 - 质量检验 - 清洁包装

从单晶棒的生长到外径磨削再到硅单晶棒的生产过程，切片后的过程是光伏新能源硅片的生产工艺。以日本某硅片厂为例，介绍了光伏新能源硅片生产过程中空调净化系统和自动控制系统的设计方案。

每个生产过程的环境控制要求

一家硅片厂生产4-6英寸光伏新能源硅片，年产量480万片。该公司的新型光伏能源硅片用于制造分立器件、功率元件和特殊集成电路。

正文

二、空调净化系统

空调净化的设计与工艺的布置和生产工艺密切相关。工厂空调净化系统的不同类型和不同用途都有自己的特点。介绍了光伏新能源硅片生产工艺的空调净化系统方案。

2.1 空调系统

1切片室，倒角室和研磨室仅具有温度控制要求。风冷式热泵分体式空调（PAC）用于确保室温要求。室内机放置在车间，使用风道。层百叶风口侧供气模式;室外单元放在屋顶上。切片室的风量大，新鲜空气由直接蒸发式热泵式屋顶空调器S1-1和S1-2补充。车间具有防尘要求。风冷式热泵分体式空调器在回风时具有中效过滤器（空气尘埃计数效率：60％，1μm颗粒）。同样的屋顶式空调需要两级过滤器。

其原理图见图:

2炉房，BSD室只有温控要求

采用空冷电加热分体式空调(PAL)来保证室温.室内单元放置在车间附近，空气接收管安装在空气接收管附近。室外单元放在屋顶上。新鲜空气来自邻近洁净室的正压力。车间有防尘要求，空冷电加热分体式空调回风口设有中效过滤器(空气粉尘计数效率：60%，适用于1米)。